三星计划外包低端光掩模生产,专注更先进技术
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据韩媒TheElec报道,三星正考虑将其用于制造内存芯片的光掩模生产外包。
过去,为了防止技术泄露,三星一直自行生产所有光掩模。然而,随着技术进步和市场环境的变化,三星决定评估将低端光掩模(如i-line和KrF)生产的外包可能性。主要潜在供应商候选包括Tekscend Photomask和PKL,前者隶属于日本凸版控股,后者则是美国Photronics公司的子公司。
目前,评估工作仍在进行中,预计将在第三季度完成。
光掩模在半导体制造中扮演着至关重要的角色,其主要功能是将电路图案精确地复制到晶圆上。根据所使用的光源波长,光掩模可以分为不同的类别,包括i-line、KrF、ArF和EUV(极紫外光)等。
其中,i-line使用365纳米(nm)的波长,适用于绘制简单的电路图案。这种技术由于波长较长,分辨率较低,因此主要用于早期的半导体制造工艺中。KrF光刻技术使用248纳米的波长,能够提供比i-line更高的分辨率,适用于中等分辨率的电路图案绘制。
而ArF光刻技术使用193纳米的波长,进一步提高了分辨率,适用于更复杂的电路图案绘制。EUV光刻技术使用13.5纳米的波长,是目前最先进的光刻技术,能够实现7纳米及以下制程的电路图案绘制。
三星如今之所以考虑光掩模生产外包,主要原因在于设备老化问题。三星现有的i-line和KrF生产设备已经老化,且不再生产,获取新设备变得极为困难。
其次,尽管过去对技术泄露有担忧,但三星在这些低端技术上已不再具备明显的优势。不过,也有消息人士称,目前三星自行生产这些光罩仍然比外包更具成本效益。
另外,三星也是希望实现内部资源优化,即通过外包低端光掩模生产,三星可以将更多资源集中在更先进的ArF和EUV工艺上,从而提升其技术竞争力。而ArF和EUV光掩模将决定三星的技术实力,因此自然希望专注于更先进的技术。